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投资界（ID：pedaily2012）7月7日消息，半导体前道制程量测设备公司优睿谱完成近亿元A轮融资，本轮融资由基石浦江领投，浑璞投资、星河资本、中南创投、泓湖资本、杭州盟合、景宁灵岸等跟投。本轮融资将用于新产品的研发及量产。公司同时宣布启用无锡技术中心和上海金桥研发中心。

优睿谱成立于2021年，致力于打造高品质的半导体前道量测设备。半导体量测设备主要用于半导体制造工艺中缺陷检测和参数测量，广泛用于硅片制造、芯片制造、先进封装领域，如关键尺寸测量设备、薄膜厚度测量设备、缺陷检测设备等。前道制程量测设备已超过百亿美元市场规模。而更先进的制程工艺也扩大了量测设备的需求，给量测设备带来更多新的市场空间。优睿谱自主开发了半导体专用傅里叶变换红外光谱测量设备，可以用来测量外延层厚度及均匀性、元素浓度、硅料杂质含量等。

优睿谱总经理唐德明博士表示，由于公司产品线更加丰富、经营规模持续扩大，公司在无锡设立了技术中心。本次无锡技术中心的正式启用，有助于公司加快对客户的产品交付、有助于加快新产品的研发、验证和量产。优睿谱致力于打造高品质的半导体前道量测设备，在深厚的技术积累基础上实现技术创新，助力中国半导体前道量测设备自主可控。在创始团队上，优睿谱核心团队由长期从事半导体行业的海归博士和国内资深的IC前道制程量测设备技术团队构成。目前，优睿谱拥有近60名员工。

浑璞投资合伙人姜寅明：半导体量检测设备被看作是半导体制程之眼，在芯片制造的良率管理中扮演着非常重要的角色。当前，半导体量检测设备面临着迫切的国产替代需求，优睿谱在较短时间内完成了多款量检测产品的开发、推广和验证，充分反映出团队的深厚技术积淀、广阔人脉资源和强大市场能力。

中南创投合伙人王建晖：在半导体制造发展和制程工艺提升过程中，先进的量测设备必不可少，优睿谱正是顺势而生的一家优秀的半导体前道量测设备公司。凭借团队深厚的研发能力、上下游供应链的资源整合能力、敏锐的市场洞察力以及客户开拓和服务能力，优睿谱成立仅一年半，就推出多款填补国内空白的前道量测设备，并获得多家知名客户的订单和认可。

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